ข้อกำหนดสำหรับห้องคลีนรูมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีดังนี้:
1. ข้อกำหนดด้านความสะอาดสูง
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการสภาพแวดล้อมที่สะอาดอย่างเข้มงวด ความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูมแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่แตกต่างกัน โดยทั่วไปเป็นไปตามมาตรฐาน Class 1 (เท่ากับหรือน้อยกว่า 1 อนุภาคขนาด 0.1 ไมครอนต่อลูกบาศก์ฟุต) ถึง Class 100 (เท่ากับหรือน้อยกว่า 100 อนุภาคขนาด 0.5 ไมครอนต่อลูกบาศก์ฟุต)
2. การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นที่แม่นยำ
วัสดุเซมิคอนดักเตอร์มีความไวต่ออุณหภูมิและความชื้นสูง ห้องคลีนรูมจำเป็นต้องควบคุมอย่างเข้มงวดที่ 20-25 °C โดยมีช่วงความชื้นสัมพัทธ์ 40-60% และความผันผวนไม่เกิน ± 1 °C และ ± 5% RH
3. การจ่ายและกระจายพลังงานที่เชื่อถือได้และเสถียร
ห้องคลีนรูมต้องการระบบจ่ายและกระจายพลังงานเฉพาะ เพื่อให้พลังงานที่เสถียรและซ้ำซ้อน เพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานตามปกติและต่อเนื่องของอุปกรณ์กระบวนการ ในเวลาเดียวกัน จำเป็นต้องมีฟังก์ชันการป้องกันและการกรองเพื่อป้องกันการรบกวนของพลังงาน
4. การไหลเวียนของอากาศที่ปราศจากฝุ่นอย่างสมเหตุสมผล
ห้องคลีนรูมจำเป็นต้องติดตั้งระบบกรองและหมุนเวียนอากาศที่ปราศจากฝุ่น เพื่อให้มั่นใจถึงการกระจายการไหลเวียนของอากาศที่สมเหตุสมผลและไม่มีมุมอับ ดังนั้นอากาศที่สะอาดจึงสามารถเข้าถึงทุกมุมได้อย่างเต็มที่ ควรควบคุมความเร็วลมและแรงดันอากาศอย่างเข้มงวดเพื่อป้องกันไม่ให้อากาศภายนอกไหลย้อนกลับหรือรบกวน
5. การออกแบบแผ่นดินไหวที่สมบูรณ์
เมื่อพิจารณาถึงข้อกำหนดด้านความเสถียรของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ห้องคลีนรูมมักจะต้องใช้มาตรการป้องกันการกระแทกเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นสะเทือนภายนอกต่อกระบวนการ ควรมีรากฐานที่มั่นคงเพียงพอและติดตั้งอุปกรณ์บัฟเฟอร์
6. การเลือกใช้วัสดุที่ปราศจากฝุ่นและปราศจากมลพิษ
วัสดุพื้นผิวของห้องคลีนรูมต้องปราศจากฝุ่นและปราศจากมลพิษ และจะไม่ก่อให้เกิดอนุภาค โดยทั่วไปจะใช้วัสดุสแตนเลส แผ่นอะลูมิเนียม กระจกเทมเปอร์ และวัสดุอื่นๆ จำเป็นต้องติดตั้งม่านอากาศที่ทางเข้าเพื่อป้องกันฝุ่นเข้า
